【2020测量大咖】什么是共聚焦显微镜？

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蔡司非接触式高精度的共聚焦测量技术

ZEISS Smartproof 5是一款集成式转盘共聚焦显微镜，依托孔径关联技术将传统共聚焦显微镜的高分辨率与转盘系统的高速采集相结合，能够高速、准确地采集表面3D数据。

· 二维测量：距离、高度、角度、构造元素和基于ISO 4287标准的轮廓粗糙度

· 三维测量：水平距离、3D距离、高度、角度、构造点、面积、体积和基于 ISO 25178 标准的面粗糙度

优势：Z轴测量精度可达纳米级

采集速度与分辨率：Smartproof 5 将点扫描系统的高分辨率与转盘系统的高速采集优势融为一体。

应用案例：机械加工金属表面

（左图）由 20x/0.7 物镜拍摄的四张真彩表面纹理叠加 3D 彩色编码高度图的拼接图片；（右图）以垂直于机械加工方向获取的粗糙度剖面图，显示了表面轮廓。

应用案例：花齿螺钉

（左图）3D 彩色编码高度图；（右图）沿左图所示方向获取的剖面图，用等高线测量角度和高度差。

应用案例：电子设备

（左图）叠加真彩纹理的三维视图；（中图）用 10×/0.4 物镜创建的高度图；（右图）用于测量区域粗糙度或纹理的二维高度图，例如用于质量控制或确定假冒电子设备。