在工业质量、失效分析或研究领域中，扫描电子显微镜是适用于金相和失效分析应用的首选，因为它能提供高分辨率成像和高空间分辨率的化学元素。ZEISS EVO专为日常检验和分析应用设计，提供了一种不仅能吸引经验丰富的用户，而且能吸引非SEM专家的工程师的操作概念。

EVO可提供一流、高质量的数据，尤其是对由于需要进行后续检验而无法涂覆导电层的非导电部件。EVO真正独特的特点是它能无缝集成到多模态QA或FA工作流中，因为它能对感兴趣区域以半自动方式重新定位，跨系统、实验室甚至位置，提供数据完整性解决方案。结合颗粒分析软件ZEISS SmartPI，EVO可成为洁净度分析的关键工业解决方案平台。

在样品室大小、真空系统、电子发射器类型和分析选项方面提供丰富选项，可以让您的EVO匹配您对价格和性能的要求。 

将您的研究带上更高的层次。

EVO提供了当您到达光学显微镜的分辨率或对比度极限时的测量需求：

高分辨率表面形貌

二次电子(SE)成像能很好地覆盖大多数亚微米长度。光学显微镜仅能获取样品表面对比度，二次电子成像获取的是样品表面的形貌，从而提供更高的表面形态细节。

组合成像

背散射(BSE)成像主要反映样品表面成分特征，它能提供样品表面不同成分分布情况的观察，帮您确定材料失效或质量偏差的根本原因。

高空间分辨率元素分析

在能谱(EDS)中，聚焦电子束检测各元素X射线特性波长来做材料微区成分元素种类与含量分析。使用扫描电子束可以获得相关区域中化学元素的分布。

不锈钢断裂面边缘对比强烈的金属颗粒。

低合金钢(8630)和镍合金(625)异种钢焊缝的背散射成像，显示了复杂的成分异质性。样品由TWI公司提供。

能谱检测异种钢焊缝，显示了钼的空间分布。

分析天然状态的样本，获得最准确、最高质量的图像和数据。

可以理解，非导电表面将在电子束下充电，会导致有人不愿使用SEM来检测这些部件。虽然有各种样品准备解决方案能缓解这个挑战，但将继续通过多模态QA或FA工作流程的部件必须保持不变。EVO擅长于从未涂覆和未改动的部件中提取最高质量的数据。EVO的变压运行通过真空室中的气体电离抑制了表面电荷。专用的变压检测器针对二次电子检测进行了优化，电子束加速电压更低，工作距离长(若需要)。最后一个重点：可选的六硼化镧发射器确保在这些困难的条件下获得最佳的无噪声图像。

专家和新手用户均可操作SEM

在工业材料实验室中，当制造中的质量偏差被发现或故障部件从现场返回后，由于检测环节需要一定的时间来获得答案，产量和时间数据突然变得重要。EVO SEM可由专家和非专家电子显微镜工作者通过简化的图形用户界面对显微镜进行操作。默认情况下，EVO是由SmartSEM用户界面操作的，它具有专家级用户所需的所有功能。对于新手和偶尔使用的用户，也可通过鼠标或触摸控制从简化的图形用户界面SmartSEM Touch操作EVO。该界面可对仪器设置进行预编程，用于对质量检验或故障分析环境中常见的部件进行重复成像。

“New SmartSEM Touch很容易操作，我们的实习生Lauren 20分钟就学会使用了。谢谢!”

ECR Engines质量经理Jim Suth，ECR Engines是一家生产和开发高性能发动机的公司，在NASCAR赛车系列赛中赢得了250多次胜利。

SmartSEM Touch：供新手用户使用的界面

Shuttle & Find将EVO、光学显微镜和数码显微镜整合到一个相关联的多模态工作流程中。

在工业质量保证以及失效分析中，彻底的评估可能需要结合其它检验或分析模态得出的数据，从而探究问题的根本。这正是EVO擅长之处，“与其它显微镜良好协同”。多模态工作流程(将一个部件从一台仪器移动到另一台仪器)的优势是采集对SEM数据形成补充的数据，为问题研究提供更广阔的视角。蔡司成像分析和存档软件ZEN 2 core的Shuttle & Find模块可以将EVO和其它蔡司显微镜包含在一个多模态工作流程中。Shuttle &Find和ZEN 2 core通过对相关区域进行快速、半自动的迁移，将多个模态的数据自动存储到一个项目文件夹中，并将来自多个模态的成像和元素化学数据重叠，简化样品交换并加快工作流程。多模态数据采集对于某些用户已经成为现实，很快就将在工业QA和FA环境中为其他用户实现。任何情况下，EVO都可集成到关联的显微镜检查和分析工作流程中。在工业质量保证以及失效分析中，彻底的评估可能需要结合其它检验或分析模态得出的数据，从而探究问题的根本。这正是EVO擅长之处，“与其它显微镜良好协同”。多模态工作流程(将一个部件从一台仪器移动到另一台仪器)的优势是采集对SEM数据形成补充的数据，为问题研究提供更广阔的视角。蔡司成像分析和存档软件ZEN 2 core的Shuttle & Find模块可以将EVO和其它蔡司显微镜包含在一个多模态工作流程中。Shuttle &Find和ZEN 2 core通过对相关区域进行快速、半自动的迁移，将多个模态的数据自动存储到一个项目文件夹中，并将来自多个模态的成像和元素化学数据重叠，简化样品交换并加快工作流程。多模态数据采集对于某些用户已经成为现实，很快就将在工业QA和FA环境中为其他用户实现。任何情况下，EVO都可集成到关联的显微镜检查和分析工作流程中。

Shuttle & Find将EVO、光学显微镜和数码显微镜整合到一个相关联的多模态工作流程中。

工业洁净度分析的关键解决方案

和基于光学显微镜的洁净度解决方案相比，SmartPI是蔡司的自动化、符合标准的SEM颗粒分析解决方案，能根据元素组成进行颗粒分类。SmartPI数据帮助工程师将洁净度数据与颗粒污染的源头关联。SmartPI作为工业洁净度分析的关键解决方案在EVO上实施，并获得蔡司的完全支持。SmartPI是与全球主要汽车零部件供应商合作开发，确保其符合最新、最严苛的工业洁净度要求，包括最新的VDA 19第1部分和第2部分洁净度测量标准。SmartPI的独特之处在于能检测交叉连架颗粒，确保测量中不会遗漏最大的颗粒。

EVO上的SmartPI和蔡司光学显微镜颗粒分析仪一同实现工作流程的关联性，先由光学显微镜检测颗粒大小，分辨形状并对金属颗粒分类，然后EVO测量金属颗粒的元素组成。这种高效的工作流程不仅能发现颗粒，还能按照大小、形状和污染或磨损来源对颗粒分类。