U2（xy平面）=（2.0+L/250）μm

0.1μm分辨率

高速DC伺服马300mm/sec

可选配的无电刷线性直流伺服电机控制500mm/sec

双放大倍数光学系统

Windows2000操作系统下View测量软件

客户自定义界面

M多元传感的照相机和激光探头

具有专利的可编程的环光（多种颜色LED版本）

独有的边缘寻边的算法