电弧蒸镀系统和工艺

发布时间:2012-03-02

电弧蒸镀 在此工艺中,直径仅为几微米的电弧环绕坚固的金属涂层材料运动,使该涂层材料蒸发。由于使用了强电流和功率密度,蒸发材料几乎全部离子化并形成高能量的等离子。

金属离子与加入到反应室中的反应气体结合,以高能量冲击待涂的工具或元件,最后沉积为薄而高度粘附的涂层。

1 氩
2 反应气体
3 电弧源(涂层材料和背板)
4 元件
5 真空泵

系统和工艺

在全世界已有400多套巴尔查斯涂层系统投入使用。它们是生产率、灵活性、可用性、寿命期和成本效益性的标竿。

您可以购买满足您具体需求的合格涂层工艺,与系统配套使用。

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