内置的最高规格，光子中压TOC的系统是专门设计来实现总有机碳（TOC）的还原度非常高。 在通过了世界最新的亚微米晶圆制造领导，海诺威系统始终保持在1ppb的TOC含量。

光电倍增管系统安装在一个半导体工厂，美国

应用
•TOC的减少
优点
•在TOC的最高性能降低
•紧凑型设备
•有意义的监测
•经过验证的解决方案提供和平的心态