伴随着高端制造产业如：液晶面板、太阳能光伏、锂电新能源、激光、贴装、半导体、医疗制造、精密喷绘、精密检测、点胶等行业的兴起或进阶，带来了庞大的精密自动化设备需求；为匹配高端制造业相应技术要求，自动化设备的制造及标定技术标准也在不断提升；这其中，无论是在生产制造过程中的测量检测、还是在设备服役期间的校准标定，都是重中之重的环节，为自动化设备的稳定运行提供最坚实的保障。

基于高质量检测标准和针对以上各参数项的检测需求，使用XD LASER激光干涉仪，一次安装即可同时实现对：线性定位误差（定位精度、重复定位精度、反向间隙）、直线度误差（XX方向和YY方向）、垂直度误差、以及角度误差（俯仰角、偏摆角、滚动角）的检测（如图2示意），测量效率较传统激光干涉仪提升五倍以上！

01实现线性定位误差测量：包括定位精度、重复定位精度、反向间隙；

02实现直线度测量：包括垂直于运动轴方向的两个方向（竖直、水平）的直线度；

03实现角度测量：运动中的俯仰角、偏摆角、滚动角；

04一次安装可同时测量上述参数，无需更换光学组件，效率较传统干涉仪提高五倍以上；

05直线度和角度测量中不怕断光，可以替代准直仪使用，对安装进行指导调整；

06安装灵活方便，可以选择多种安装方式，即使在最苛刻的拥挤环境也可便捷使用；