采用激光跟踪仪测量自动上料系统

半导体与微处理器生产商需要采用洁净室或真空室保证产品的纯净和质量。ASYS公司可提供这种先进的真空室，并使用经API跟踪仪校准的机器人对其进行管理。

位于德国Schorndorf的ASYS Automatic Systems公司主要为半导体行业与微结构技术开发搬运系统。这些用于真空室和洁净室的机器人由ASYS公司设计并生产，以单机或与必需的真空室一起构成完整上料系统向客户供应。除了真空质量与纯净度以外，搬运系统的动态特性也非常重要，如重复精度和定位精度等主要技术参数，它们又一次给测量技术提出了特殊挑战，因为搬运系统在工作中会一直运动。即使是最先进的3D坐标测量仪也不能实现动态测量，所以激光跟踪仪接管了校准ASYS公司搬运系统的工作。

我们的目标是将搬运系统在客户现场的安装时间缩短到最小，并且现场只是安装，无需现场示教。在这一背景下，ASYS公司决定依赖激光跟踪仪的测量能力，并利用静态与动态测量结果实现高真空度与规定纯净度中的操作。为此，需要两个计算系列，一个测量系列是在空气(无真空)中;根据测量结果和转换方程可计算出真空中的测量结果。

动态测量

激光跟踪仪此应用中展现了其独特的特性;为了精确确定机器人的轨迹，需要测量尽量多的点。因此，在ASYS公司，静态与动态测量中都是用了激光测量仪;它们用于长期测量试验，并且在其它地方，其静态模式也被用于产品质量检验，以及用于零部件调整校准时的安装辅助工具。在ASYS公司的测试中，动态测量频率为300Hz，路径速度达2m/s。